Gigaphoton将在SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023大会发布技术解决方案
2023-02-17 19:00:09来源:互联网

公司将在半导体光刻技术盛会上发表论文

日本小山市--(美国商业资讯)--半导体光刻光源制造商Gigaphoton株式会社(总部:?木县小山市,董事总经理兼首席执行官:Katsumi Uranaka)将参加于太平洋标准时间2023年2月26日(星期日)至3月2日(星期四)在加州圣何塞举行的SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023大会。 

Gigaphoton将介绍助力提高产能的前沿技术,以及基于DUV光源技术可持续性解决方案。此外,Gigaphoton还将介绍EUV光源的研发进展。 

* 如果您希望在您的材料中引用这些论文,请联系我们。 

 
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